灸法自应用于医疗实践以来，传至春秋战国时期已颇为盛行，在文献中最早提及灸法的可见于《左传》，记载鲁成公十年（公元前581年)，晋景公有病，请秦国的医缓诊治，医缓说：“疾不可为也，在肓之上，膏之下，攻之不可，达之不及，药不治焉。”这里所说的“攻”即指艾灸，而“达”是指针刺。
1973年湖南长沙马王堆汉墓出土的“帛书”，就有灸法的记载。《内经》中有关灸法的记载就更多，《素问·异法方宜论篇》还指出灸法的产生与寒冷的环境条件和生活习惯及发病特点有密切关系。此外，还述及了灸法的适应怔、施灸顺序、剂量、补泻等，并将灸法与针法并提。
随着医疗实践的发展，以后历代出现了许多针灸著作。 晋代皇甫谧《针灸甲乙经》，唐代孙思逸《千金要方》都大力提倡针灸并用。唐代王焘《外台秘要》则专门论述灸法而不言针法，可见其对灸法的重视。以后至清代众多医家无不注重灸法。
记载灸法的书籍除医经、方书和各种综合性针灸书之外，也出现了不少灸法的专著，远在公元3世纪就有《曹氏灸方》，唐代有《骨蒸病灸方》，宋代有《黄帝明堂灸经》，《灸膏育俞穴法人《备急灸法》，元代有《
痈疽神秘灸经》，明清有《采艾编》、《太乙神针》、《神灸经论》等。
施灸的材料也越来越多样化，除用艾以外，又有用硫磺、灯芯、
桑枝、
桃枝、黄腊、药锭等来施灸，还有用药未和
艾绒混合而成艾卷熏熨的雷火神针、太乙神针等。
灸法的操作也越来越丰富，从着肤灸发展到隔物灸，还有灯草蘸油点火在患者皮肤上直接烧的的“灯火灸”，有利用竹筒和苇筒塞入耳中，在筒口施灸以治疗耳病的筒灸等。
